Erdieroaleen (FAB) gela garbi bateko hezetasun erlatiboaren xede-balioa % 30 eta 50 artekoa da gutxi gorabehera, % ± 1eko errore-marjina estua ahalbidetzen duena, esate baterako, litografia eremuan, edo are gutxiago ultramore urruneko prozesamenduan (DUV). zona - beste leku batzuetan, berriz, ±% 5era erlaxa daiteke. Zeren...
Irakurri gehiago