Erdieroaleen (FAB) gela garbiko hezetasun erlatiboaren xede-balioa

Erdieroaleen (FAB) gela garbi bateko hezetasun erlatiboaren xede-balioa % 30 eta 50 artekoa da gutxi gorabehera, % ± 1eko errore-marjina estua ahalbidetzen duena, esate baterako, litografia eremuan, edo are gutxiago ultramore urruneko prozesamenduan (DUV). zona - beste leku batzuetan, berriz, ±% 5era erlaxa daiteke.
Hezetasun erlatiboak gela garbien errendimendu orokorra murrizteko hainbat faktore dituelako, besteak beste:
1. Bakterioen hazkundea;
2. Langileentzako giro-tenperaturaren erosotasun tartea;
3. Karga elektrostatikoa agertzen da;
4. Metalaren korrosioa;
5. Ur-lurrunaren kondentsazioa;
6. Litografiaren degradazioa;
7. Uraren xurgapena.

Bakterioak eta beste kutsatzaile biologiko batzuk (lizunak, birusak, onddoak, akaroak) % 60 baino gehiagoko hezetasun erlatiboa duten inguruneetan hazten dira. Bakterio-komunitate batzuk % 30 baino gehiagoko hezetasun erlatiboan hazi daitezke. Konpainiak uste du hezetasuna % 40 eta % 60 artean kontrolatu behar dela, eta horrek bakterioen eta arnas infekzioen eragina minimiza dezake.

Hezetasun erlatiboa % 40 eta % 60 arteko tartean ere giza erosotasunerako tarte moderatua da. Gehiegizko hezetasunak jendea bete-betea senti dezake, eta % 30etik beherako hezetasunak, berriz, larruazal lehorra, urratuta, arnas-ondoeza eta zorigaitz emozionala senti ditzake.

Hezetasun handiak karga elektrostatikoen pilaketa murrizten du gela garbiaren gainazalean, nahi den emaitza da. Hezetasun baxua aproposa da karga metatzeko eta deskarga elektrostatikoen iturri potentzial kaltegarria izateko. Hezetasun erlatiboa % 50 gainditzen duenean, karga elektrostatikoak azkar xahutzen hasten dira, baina hezetasun erlatiboa % 30 baino txikiagoa denean, luzaroan iraun dezakete isolatzaile batean edo lurrik gabeko gainazalean.

%35 eta %40 arteko hezetasun erlatiboa konpromezu on gisa erabil daiteke, eta erdieroaleen gelak, oro har, kontrol osagarriak erabiltzen dituzte karga elektrostatikoen metaketa mugatzeko.

Erreakzio kimiko askoren abiadura, korrosio-prozesuak barne, handitu egingo da hezetasun erlatiboa handitzean. Gela garbiaren inguruko airearen eraginpean dauden gainazal guztiak azkarrak dira.