Hezetasun erlatiboaren helburu-balioa erdieroaleen gela garbi batean (FAB)

Erdieroaleen (FAB) gela garbi batean hezetasun erlatiboaren helburu-balioa % 30etik % 50era bitartekoa da gutxi gorabehera, eta horrek ± % 1eko errore-marjina estua onartzen du, litografia-eremuan adibidez –edo are gutxiago urruneko ultramorearen prozesatzeko (DUV) eremuan–, beste leku batzuetan ± % 5era lasaitu daitekeen bitartean.
Hezetasun erlatiboak hainbat faktore dituelako gela garbien errendimendu orokorra murriztu dezaketenak, besteak beste:
1. Bakterioen hazkuntza;
2. Langileentzako giro-tenperaturako erosotasun-tartea;
3. Karga elektrostatikoa agertzen da;
4. Metalen korrosioa;
5. Ur-lurrunaren kondentsazioa;
6. Litografiaren degradazioa;
7. Uraren xurgapena.

Bakterioak eta beste kutsatzaile biologiko batzuk (lizunak, birusak, onddoak, akaroak) % 60tik gorako hezetasun erlatiboa duten inguruneetan haz daitezke. Bakterio-komunitate batzuk % 30etik gorako hezetasun erlatiboan haz daitezke. Enpresak uste du hezetasuna % 40tik % 60ra bitarteko tartean kontrolatu behar dela, bakterioen eta arnas infekzioen eragina gutxitzeko.

% 40tik % 60ra bitarteko hezetasun erlatiboa ere tarte moderatua da gizakien erosotasunerako. Hezetasun gehiegi egoteak atsekabea eragin diezaieke, eta % 30etik beherako hezetasunak, berriz, azal lehorra eta pitzatua, arnasketa-ondorioak eta atsekabe emozionala eragin ditzake.

Hezetasun altuak, hain zuzen ere, karga elektrostatikoen metaketa murrizten du gela garbiaren gainazalean, eta hori da nahi den emaitza. Hezetasun baxua aproposa da karga metatzeko, eta deskarga elektrostatikoen iturri kaltegarria izan daiteke. Hezetasun erlatiboa % 50etik gorakoa denean, karga elektrostatikoak azkar desagertzen hasten dira, baina hezetasun erlatiboa % 30etik beherakoa denean, denbora luzez iraun dezakete isolatzaile batean edo lurrera konektatuta ez dagoen gainazal batean.

% 35 eta % 40 arteko hezetasun erlatiboa erabil daiteke konpromiso egoki gisa, eta erdieroaleen gela garbiek, oro har, kontrol gehigarriak erabiltzen dituzte karga elektrostatikoen metaketa mugatzeko.

Erreakzio kimiko askoren abiadura, korrosio-prozesuak barne, handituko da hezetasun erlatiboa handitzen den heinean. Gela garbiaren inguruko airearen eraginpean dauden gainazal guztiak azkarrak dira.