Erdieroaleen (FAB) gela garbiko hezetasun erlatiboaren xede-balioa

Erdieroaleen (FAB) gela garbi bateko hezetasun erlatiboaren xede-balioa % 30 eta 50 artekoa da gutxi gorabehera, % ± 1eko errore-marjina estua ahalbidetzen duena, esate baterako, litografia eremuan, edo are gutxiago ultramore urruneko prozesamenduan (DUV). zona - beste leku batzuetan, berriz, ±% 5era erlaxa daiteke.
Hezetasun erlatiboak gela garbien errendimendu orokorra murrizteko hainbat faktore dituelako, besteak beste:
1. Bakterioen hazkuntza;
2. Langileentzako giro-tenperaturaren erosotasun tartea;
3. Karga elektrostatikoa agertzen da;
4. Metalaren korrosioa;
5. Ur-lurrunaren kondentsazioa;
6. Litografiaren degradazioa;
7. Uraren xurgapena.

Bakterioak eta beste kutsatzaile biologiko batzuk (lizunak, birusak, onddoak, akaroak) % 60 baino gehiagoko hezetasun erlatiboa duten inguruneetan hazten dira.Bakterio-komunitate batzuk % 30 baino gehiagoko hezetasun erlatiboan hazi daitezke.Konpainiak uste du hezetasuna % 40 eta % 60 artean kontrolatu behar dela, eta horrek bakterioen eta arnas infekzioen eragina minimiza dezake.

Hezetasun erlatiboa % 40 eta % 60 arteko tartean ere giza erosotasunerako tarte moderatua da.Gehiegizko hezetasunak jendea bete-betea senti dezake, eta % 30etik beherako hezetasunak, berriz, larruazal lehorra, urratuta, arnas-ondoeza eta zorigaitz emozionala senti ditzake.

Hezetasun handiak benetan murrizten du karga elektrostatikoen pilaketa gela garbiaren gainazalean - nahi den emaitza da.Hezetasun baxua aproposa da karga metatzeko eta deskarga elektrostatikoen iturri potentzial kaltegarria izateko.Hezetasun erlatiboa % 50 gainditzen duenean, karga elektrostatikoak azkar xahutzen hasten dira, baina hezetasun erlatiboa % 30 baino txikiagoa denean, luzaroan iraun dezakete isolatzaile batean edo lurrik gabeko gainazalean.

%35 eta %40 arteko hezetasun erlatiboa konpromezu on gisa erabil daiteke, eta erdieroaleen gelak, oro har, kontrol osagarriak erabiltzen dituzte karga elektrostatikoen metaketa mugatzeko.

Erreakzio kimiko askoren abiadura, korrosio-prozesuak barne, handitu egingo da hezetasun erlatiboa handitzean.Gela garbiaren inguruko airearen eraginpean dauden gainazal guztiak azkarrak dira.